北京時間2020年9月22日，在世界範圍内被譽為科技創新“奧斯卡”的“R&D 100”獎評選委員會在官網上公布了2020年度“R&D 100”獎入圍名單，中國科技企業聚束科技（北京）有限公司（以下簡稱“聚束科技”）獨立研發并擁有自主知識産權的高通量掃描電子顯微鏡NavigatorSEM-100強勢入圍。此次入圍，一定程度上宣告了成立僅僅5年的聚束科技通過強大的創新實力，讓國産高科技産品追趕國際的時代一去不返，【中國創造】引跑國際電子顯微鏡行業，已獲得世界權威認證。

“R&D100大獎”是《R&D雜志》标志性年度大獎，有着近60年的曆史，是世界公認的“創新發明界奧斯卡”。100是指每年在全球範圍内,以顯著科技突破性、創新獨特性及應用實用性3個标準，由世界範圍内各領域的知名專家學者每年從全球上千個項目中經過兩輪評比，挑選出100項年度具重大創新意義的新技術、新産品100項。

圖 高通量（場發射）掃描電子顯微鏡

聚束科技此次入圍的NavigatorSEM-100，是全球首款高通量（場發射）掃描電子顯微鏡，也是聚束科技為了克服傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，研發出來的具有革新意義的科技産品。NavigatorSEM-100從外部構造到内部細節都體現出精良的設計思路, 通過對快速成像技術、納米載物台、大視野偏轉以及AI控制的系統化創新設計，實現了高通量成像，成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上，使掃描電鏡從傳統意義的納米 “照相機”躍變為納米 “攝像機”，重新定義了高速電鏡的類别。與傳統掃描電鏡對比，NavigatorSEM-100具有明顯的優勢：

1.全直接電子探測器

傳統掃描電鏡的電子探測器大多為閃爍體+光電倍增管結構，由于電子與光子的相互轉換，量子效率很低。NavigatorSEM-100所有探測器均采用獨立設計的直接電子（Direct Electron）探測器，電子直接轉換為信号，因此探測效率高達80%以上，擁有更高的信噪比（SNR）。

2.超低畸變電子光學鏡筒

傳統掃描電鏡對圖像畸變要求較低，圖像拼接時會遇到邊緣畸變大而無法拼接。NavigatorSEM-100基于半導體工業級電子束檢測設備理念設計，畸變小于0.1%。

3. 原位統計分布分析技術（OPA）

集成基于國家技術發明二等獎的OPA技術，NavigatorSEM-100實現了材料原始位置信息的大尺寸跨尺度高通量表征。

聚束科技（北京）有限公司成立于2015年，總部位于北京經濟技術開發區，在國内（北京，甯波）及國際（新加坡）均設有研發和生産中心，擁有國内完整的電子光學儀器開發和制造環境、良好的自主加工和工藝開發環境，是一家具備獨立研發和生産高端場發射電子顯微鏡系統能力的高新技術企業。從成立到自主研發生産的産品站在國際第一起跑線上，聚束科技的高速發展依賴于專業的研發團隊、強大的技術知識和創新的人才，研發團隊成員均具備多年科研和生産的實戰經驗。其中研發、工藝工程師60餘人，碩士及以上學曆超過60%，研發人員占比超60%。目前擁有國家發明專利、實用新型專利、國際PCT專利共計30餘項，并保持每年十幾項發明專利的産生速度。

圖 高通量（場發射）掃描電子顯微鏡實操場景

掃描電鏡作為一種高端的電子光學儀器，廣泛應用在生命科學、材料研究、半導體工業等領域。目前每年我國花費超過1億美元采購的掃描電鏡中，國産掃描電鏡僅僅隻占5%—10%。如何突破國産掃描電鏡“卡脖子”的困境，一直是聚束科技關注的重點和使命所在。聚束科技總經理何偉表示: “聚束科技堅持以技術創新為戰略核心，不斷加快新産品，新技術的開發步伐，堅持理論創新與技術創新的良性互動，不計成本，每年投入千萬元到研發生産中，全力突破國産掃描電鏡市場占有率低的困境, 将公司的成長與國家的進步相結合，助力國産掃描電鏡行業快速發展。”

聚束科技NavigatorSEM-100此次入圍R&D100創新獎意味着擁有自主知識産權的中國高端掃描電鏡已獲得國際的認可并走在了行業前端。未來，聚束科技将繼續砥砺前行，不斷加強技術創新研發，秉持“不僅是中國制造，更是要中國創造”的初心，用更尖端的創新顯微技術打造世界範圍内更具有核心競争力的電鏡顯微産品，為民族企業在科學儀器領域的長足發展、中國科學技術的進步做出應有的貢獻。