中文
近日,中國儀器儀表學會分析儀器分會名譽副理事長劉長寬、副理事長曹以剛、秘書長吳愛華、秘書長助理李玉琛、副秘書長清華大學邢志及分析測試百科網等7位專家老師、媒體到訪聚束科技(北京)有限公司(以下簡稱“聚束科技”)走訪交流。考察團的老師們在聚束科技總經理李帥的帶領下參觀了公司的辦公場所及生産車間,并與相關人員圍繞榮獲“朱良漪分析儀器創新獎”的高通量(場發射)掃描電鏡NavigatorSEM-100的産品特點、功能、理念及設計初衷進行了溝通交流。
會上,李帥着重介紹了公司的發展現狀及未來的産品研發計劃,他提到了新機型高通量(場發射)掃描電子顯微鏡NavigatorSEM-100+ ,配備新型電子槍,電子束落點能量範圍可達30keV,涵蓋絕大多數掃描電鏡落點能量需求範圍。分辨率可達1.0nm (15keV下),較大的提高了産品分辨率。且新機型在保證1-3kV低加速電壓下可獲得1.5nm高分辨率的同時,仍能保持1‰以下的低圖像畸變。
目前,聚束科技NavigatorSEM系列高通量(場發射)掃描電鏡已有一定的裝機量,客戶分布在半導體、生命科學、地質油氣、材料科學等多個領域,但仍然希望能開發更多新的應用領域。