超高成像質量

獨特的浸沒式電磁複合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的像差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡系統複合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的完美圖像。

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信号電子收集效率，即使在nA級别的大束流條件仍可獲得極佳的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光幹涉振動補償、電磁幹擾主動補償），消除環境因素幹擾，保證成像高分辨力高質量。

超高成像質量22

獨特的浸沒式電磁複合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的像差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡系統複合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的完美圖像。

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信号電子收集效率，即使在nA級别的大束流條件仍可獲得極佳的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光幹涉振動補償、電磁幹擾主動補償），消除環境因素幹擾，保證成像高分辨力高質量。

獨特的浸沒式電磁複合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的像差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡系統複合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的完美圖像。

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信号電子收集效率，即使在nA級别的大束流條件仍可獲得極佳的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光幹涉振動補償、電磁幹擾主動補償），消除環境因素幹擾，保證成像高分辨力高質量。

獨特的浸沒式電磁複合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的像差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡系統複合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的完美圖像。

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信号電子收集效率，即使在nA級别的大束流條件仍可獲得極佳的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光幹涉振動補償、電磁幹擾主動補償），消除環境因素幹擾，保證成像高分辨力高質量。

獨特的浸沒式電磁複合物鏡系統，有效地減小低落點能量下物鏡的像差，達到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡系統複合的靜電式掃描偏轉系統，相比于傳統電鏡的磁偏轉系統，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的完美圖像。

In-Lens SE與BSE半導體直接電子探測器，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信号電子收集效率，即使在nA級别的大束流條件仍可獲得極佳的圖像襯度和信噪比。

配備主動補償系統（激光幹涉振動補償、電磁幹擾主動補償），消除環境因素幹擾，保證成像高分辨力高質量。

參數類型	參數值
分辨率Resolution	1.3nm @ 1 kV 1.2nm @ 3 kV 1.0nm @ 5 kV
加速電壓Accelerating Voltage	0.1 kV - 12 kV
放大倍數 Magnification Zoom	500X - 600,000xX(SEM) 1X - 500X(光學)
電子發射類型Emitter	肖特基場發射，漂移量＜1‰/每周
束斑電流Beam Current	50pA - 300nA
圖像大小Image Size	512 x 512 - 24k x 24k
圖像可旋轉角度Image Rotation	0 - 360°
電子束位移Beam Shift	20,000X下位移在±2μm範圍内
樣品台重複精度Stage Repeatability	在150mm量程内精度高達±150nm
探測器Image Channels	二次電子（中心）探測器二次電子（側向）探測器背散射電子探測器明場/暗場掃描透射探測器（可選）
圖像采集速度Image Rate	雙通道同時采集 2x100M 像素/秒